精密环控柜主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。该系统可实现洁净度百级、十级、一级,温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密环境控制。自面世以来,已为相关领域客户提供了稳定的实验室环境以及监测服务,获得了众多好评。其控制系统精细处理循环气流各环节,确保柜内温湿度的超高精度控制。广东环境环境

在电池的组装工序中,温湿度的波动对产品质量和性能的影响不容小觑。温度一旦发生变化,无论是电池外壳,还是内部各种组件,都会不可避免地产生热胀冷缩现象。倘若各部件的膨胀或收缩程度存在差异,组装过程便会困难重重,极易出现缝隙过大或过小的情况。缝隙过大时,电池有漏液风险,这不但会严重损害电池性能,还埋下安全隐患;而缝隙过小,则可能致使部件间相互挤压,破坏电池内部结构。在湿度方面,高湿度环境下,电池组件,尤其是金属连接件极易受潮生锈。生锈后,其电阻增大,电池导电性能随之变差,导致电池整体输出功率降低。广东环境环境关于防微振,除了控制风速降低振动外,在地面增加隔振基础,可有效降低外部微振动的传递。

刻蚀的目的在于去除硅片上不需要的材料,从而雕琢出精细的电路结构。在这一精细操作过程中,温度的波动都会如同“蝴蝶效应”般,干扰刻蚀速率的均匀性。当温度不稳定时,硅片不同部位在相同时间内所经历的刻蚀程度将参差不齐,有的地方刻蚀过度,有的地方刻蚀不足,直接破坏芯片的电路完整性,严重影响芯片性能。湿度方面,一旦出现不稳定状况,刻蚀环境中的水汽会与刻蚀气体发生复杂的化学反应,生成一些难以预料的杂质。这些杂质可能会附着在芯片表面,或是嵌入刚刚刻蚀形成的微观电路结构中,给芯片质量埋下深深的隐患,后续即便经过多道清洗工序,也难以彻底根除这些隐患带来的负面影响。
我司凭借深厚的技术积累,自主研发出高精密控温技术,精度高达 0.1% 的控制输出。温度波动值可实现±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密环境控制。该系统洁净度可实现百级、十级、一级。关键区域 ±5mK(静态)的温度稳定性,以及均匀性小于 16mK/m 的内部温度规格,为诸如芯片研发这类对温度极度敏感的项目,打造了近乎完美的温场环境,保障实验数据不受温度干扰。同时,设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h,压力稳定性可达+/-3Pa,长达 144h 的连续稳定工作更是让长时间实验和制造无后顾之忧。在洁净度方面,实现百级以上洁净度控制,工作区洁净度优于 ISO class3,确保实验结果的准确性与可靠性,也保障了精密仪器的正常工作和使用寿命。精密环境控制设备凭借超高精度温度控制,保障内部温度水平均匀性小于16mK/m。

精密环控柜采用可拆卸铝合金框架,这一设计极具创新性和实用性。对于大型设备,可在现场进行组装,减少了运输过程中的体积和重量,降低了运输难度和成本。同时,铝合金材质具有强度高、质量轻、耐腐蚀等优点,保证了设备的结构稳定性和使用寿命。箱体采用高质量钣金材质,不仅坚固耐用,而且美观大方。更重要的是,可根据客户需求定制外观颜色,满足不同用户的个性化审美需求。在一些对环境美观度有要求的实验室或生产车间,定制化的外观设计能使设备更好地融入整体环境。这种既注重功能又兼顾外观的设计,充分体现了产品的人性化和灵活性。在芯片、半导体、精密加工、精密测量等领域,利用其精密温湿度控制,保证生产环境的稳定。广东环境环境
高精密环境控制设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统等组成。广东环境环境
超高精度温度控制是精密环控柜的一大突出亮点。其自主研发的高精密控温技术,使得控制输出精度达到惊人的 0.1% ,这意味着对温度的调控能够精细到极小的范围。设备内部温度稳定性在关键区域可达 +/-2mK (静态) ,无论外界环境如何变化,都能保证关键部位的温度处于极其稳定的状态。内部温度规格可在 22.0°C (可调) ,满足不同用户对温度的个性化需求。而且温度水平均匀性小于 16mK/m ,确保柜内各个角落的温度几乎一致,避免因温度差异导致的实验误差或产品质量问题。再加上设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h ,以及压力稳定性可达 +/-3Pa ,连续稳定工作时间大于 144h ,为对温湿度、压力要求苛刻的实验和生产提供了可靠的环境保障,让长时间的科研实验和精密制造得以顺利进行。广东环境环境
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